基于ANSYS APDL的硅微谐振式加速度计模态分析
2021年12月25日 08:46浏览：1929 评论：2
硅微谐振式加速度计硅微谐振式加速度计
建模几何
有限元及边界条件
模态结果
附件包括：建模及仿真分析结果
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