薄膜体声波谐振器(FBAR)压电耦合仿真

更新于2月2日 浏览：1032

本案例建立了一薄膜体声波谐振器(FBAR)模型，一个硅衬底上挖一个空腔，然后在其上增加隔离层、下电极压电层和上电极层，结构如图所示：

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几何模型

仿真得到结构随频率响应的电势和振幅分布，如下图所示：

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频率为 3GHz

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频率为3.2 GHz

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频率为3.4 GHz

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频率为3.6 GHz

电势分布云图

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频率为3 GHz

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频率为3.2 GHz

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频率为3.4 GHz

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频率为3.6 GHz

振幅分布云图

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