分析高数值孔径物镜的聚焦

高数值孔径物镜广泛用于光学光刻、显微镜等。因此，在聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种镜头的光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。

 

摘要

•接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。

•样品系统预设为包含高数值孔径物镜。

概览

 

如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？

如何进行整个系统的光线追迹分析？

 

沿x方向线偏振

光斑直径： 3mm

波长 2.08 nm

入射平面波