JCMsuite案例展示：闪耀光栅的仿真分析

这是一维周期线光栅案例的一个变形。它的灵感来自闪耀光栅。在一维线栅的案例中，周期单元晶胞包含通过光栅的二维横截面。这里的横截面包含两个宽度、高度和角度不同的三角形。这些三角形线条位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。

光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度

S偏振光照明的近场强度

P偏振光照明的近场强度

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。

参数扫描

Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度:

在脚本data_analysis/run_scan_height.m中,在一个固定的照明角度下，其中一条三角形线的高度从50nm增至120nm。这将产生以下高度依赖关系: