多气体多范围功能有什么实际价值？金属密封气体质量流量计

布琅轲锶特 F‑111CM、F‑201CM 气体质量流量计多气体多范围功能，分析样机研发、OEM 设备场景收益，同时说明功能使用边界与选型建议。

OEM 设备研发，多气体测试带来仪表选型难题

设备研发工程师在样机开发阶段，经常要测试多种工艺气体，不同气体流量需求也不一样。传统气体质量流量计，一台仪表只能对应出厂标定的气体，如果更换气体介质，要么返厂重新标定，要么直接更换新仪表，样机就要采购多台仪表，增加样机成本，样机调试完毕，批量设备又要重新核算仪表型号。很多用户看到布琅轲锶特（Bronkhorst）F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 参数表里面标注多气体多范围功能，不清楚这个功能到底能解决什么实际痛点，F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 搭载的多气体多范围功能，对气体质量流量计现场使用带来哪些改变，是否值得作为必选配置。

什么是多气体多范围功能，硬件层面如何实现

布琅轲锶特（Bronkhorst）F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 金属密封气体质量流量计，可选配多气体多范围功能，仪表硬件内部可以存储最多 8 组气体标定曲线，厂商提供免费简易配置软件，工程师电脑连接仪表，就可以现场切换内部存储的气体标定参数，同时可以修改仪表有效流量量程，不需要寄回工厂重新标定。F‑111CM 压力等级 100bar，F‑201CM 压力等级 64bar，两款型号流量范围 0.12…6 mlₙ/min 至 1…50 lₙ/min。传统气体质量流量计标定固化，气体、量程出厂写死，一旦工艺条件改动，仪表就不再适配，而多气体多范围功能把标定选择权给到用户端，提升仪表复用能力。

实验室样机研发场景，大幅降低仪表采购数量

对于高校实验室、设备厂商样机研发，经常要轮换测试氩气、氮气、氧气、各类反应特种气体，流量区间从小 sccm 到 slm 跨度很大。如果没有多气体多范围功能，每一种气体、每一档量程都要单独采购一台气体质量流量计，样机阶段仪表采购成本很高。F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 开启多气体多范围功能之后，单台仪表就可以切换多种气体，灵活修改量程，同一台 F‑201CM 金属密封气体质量流量计，既可以做小流量测试，也可以切换到大流量档位，样机阶段不需要采购多台仪表，缩短样机调试周期，减少样机物料投入。样机测试完成之后，后续批量生产，再根据终端客户实际工况，确定是否继续启用该功能。

OEM 批量设备，应对客户定制化工艺需求

很多半导体、镀膜 OEM 设备厂商，同一套设备要交付给不同终端客户，不同客户工艺气体、流量参数存在差异。如果没有多气体多范围功能，每接到一个定制化订单，就要单独采购对应标定的气体质量流量计，物料种类繁多，备货管理复杂，交期压力大。F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 气体质量流量计，批量可以统一采购同一个硬件型号，设备出厂前，通过配置软件针对该客户工况切换气体、量程，不用更换硬件本体。简化 BOM 物料清单，减少库存 SKU，提升订单交付效率。F‑111CM 适合高压定制工况，F‑201CM 适配绝大多数常规客户，硬件本体统一，软件层面适配不同客户工艺。

多气体多范围功能，使用过程需要注意哪些边界

F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 的多气体多范围功能带来很高灵活性，但不是没有使用边界。首先，该功能属于可选配置，订货的时候需要明确勾选，不是所有出厂仪表默认开启；其次，切换气体之后，仪表依旧维持原有硬件精度指标 0.5% Rd+0.1% FS，但要注意介质必须适配金属密封流路，腐蚀性气体依旧要确认兼容性；第三，多气体多范围功能有压力适用上限，超过限定压力条件，该功能不建议启用；第四，配置软件免费提供，但需要工程师简单学习基础操作，做好参数记录。气体质量流量计开启功能之后，需要做好参数存档，避免参数误修改造成工艺异常。

哪些工况不建议开启多气体多范围功能

不是所有场景都需要开启多气体多范围功能。如果设备批量定型，工艺气体固定不变，流量区间固定，终端产线不会改动工艺参数，就可以不选配该功能，直接出厂按目标气体标定，简化现场操作。大规模半导体量产产线，工艺参数高度固化，优先选用固定标定模式，减少人为修改参数带来工艺风险。简单总结，样机研发、多客户定制 OEM 设备，强烈推荐 F‑111CM、F‑201CM、F‑111CM 开启多气体多范围功能；量产定型工艺，介质流量固定，可按需选择关闭。

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