求助:急需
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:~ 各位有限元高手:
有没有谁用过晶圆传输的接触分析?
具体是这样的:大概直径是300mm,厚度为几百微米的晶圆,在真空中传输,由于依靠摩擦力,所以要分析运动过程中的晶圆接触受力情况,最主要的拾取过程中的晶圆冲击分析。
我想请教一下:晶圆的材料属性和单元类型怎么确定?是复合材料吗?:~ :~
有没有谁用过晶圆传输的接触分析?
具体是这样的:大概直径是300mm,厚度为几百微米的晶圆,在真空中传输,由于依靠摩擦力,所以要分析运动过程中的晶圆接触受力情况,最主要的拾取过程中的晶圆冲击分析。
我想请教一下:晶圆的材料属性和单元类型怎么确定?是复合材料吗?:~ :~