半导体厂商如何做芯片的出厂测试？

平头叔

2021年10月8日 09:43

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一

芯片测试概述

芯片测试分两个阶段，一个是CP（Chip Probing）测试，也就是晶圆（Wafer）测试。另外一个是FT（Final Test）测试，也就是把芯片封装好再进行的测试。

CP测试的目的就是在封装前就把坏的芯片筛选出来，以节省封装的成本。同时可以更直接的知道Wafer 的良率。CP测试可检查fab厂制造的工艺水平。现在对于一般的wafer成熟工艺，很多公司多把CP给省了，以减少CP测试成本。具体做不做CP测试，就是封装成本和CP测试成本综合考量的结果。

一片晶圆越靠近边缘，die（一个小方格，也就是一个未封装的芯片）出问题的概率越大。

随着芯片规模的越来越大，测试也更为复杂。ATE（Automatic Test Equipment）也就应运而生。目前ATE公司最大的是Teradyne和爱德万，NI目前也在做这一块，并且很多小公司都在用NI的仪器。国内的公司知名的有长川科技。

ATE作为集成了众多高精密的Instruments的设备，价格自然不菲。一台泰瑞达的高端Ultra Flex可以买上海的几套房！

二

芯片测试流程

在测试之前，当然要有ATE设备，CP测试需要Probe Card, FT测试需要Load board, Socckt等。来一张全家福吧。最下边左一是Load Board(又叫DUT Board), 左二是Probe Card.

然后由芯片设计公司来提供Design Spec和Test Spec(datasheet)来制定Test Plan,开发测试程序，建立测试项。

Test Plan示意图：

一般测试通常包含以下测试项：

DC parameters Test

主要包含以下测试，Continuity测试(又称open/short test)主要是检查芯片的引脚以及和机台的连接是否完好。其余的测试都是检查DC电气参数是否在一定的范围内。

Continuity Test

Leakage Test (IIL/IIH)

Power Supply Current Test (IDDQ)

Other Current/Voltage Test (IOZL/IOZH, IOS, VOL/IOL, VOH/IOH)

LDO，DCDC 电源测试。

以下这张图就是open/short test原理示意图，DUT（Device Under Test）的引脚都挂有上下两个保护二极管，根据二极管单向导通以及截至电压的特性，对其拉/灌电流，然后测试电压，看起是否在设定的limit范围内。

整个过程是由ATE里的instruments PE(Pin Electronics)完成的。

Digital Functional Test

这部分的测试主要是跑测试向量（pattern），pattern则是设计公司的DFT工程师用ATPG（auto test pattern generation）工具生成的。

pattern测试基本就是加激励，然后捕捉输出，再和期望值进行比较。

与Functional Test相对应的的是Structure Test，包括Scan，Boundary Scan等，Pattern是根据芯片制造过程中产生的的defects和fault 模型来产生的。

应用Structure Test能更好的提高覆盖率。

当然还有Build-in-Self-Test (BIST）主要是针对memory进行的测试。

AC Parameters Test

主要是AC Timing Tests，包含Setup Time, Hold Time, Propagation Delay等时序的检查。

ADC and DAC Test

主要是数模/模数混合测试，检查信号经过ADC/DAC后的信号是否符合期望，这个地方涉及到的信号知识比较多。总体来说包含静态测试和动态测试。

Static Test – Histogram method (INL, DNL)

Dynamic Test – SNR, THD, SINAD

除了以上常规测试项，根据芯片的类型不同可能会进行不同的测试，比如RF测试，SerDes高速测试，Efuse测试等。

一个基本的测试流程图如下：

测试流程图

所有的测试项都是在ATE上执行的，一般会执行几秒到几十秒，因为ATE是根据机时来付费的（很少有海思，苹果这种土豪公司一次买数十台），所以缩短测试时间变得尤其重要！另外一般芯片在量产测试的时候，都是百万颗或者千万颗，每个芯片节省一秒，总体来说缩短的时间还是很可观的。

在测试执行完成后，ATE会输出一个Datalog，以显示测试结果。对于测试pass或fail测试项的不同，也会对其进行分类(Bin)，最后由Handler分拣。

datalog 示意图：

以上就是芯片的测试完整流程。再放两张芯片测试的封测厂/实验室的环境图：

封测厂需要穿静电服

图为Advantest测试机台

三

两个问题

1、BGA 这样的封装，应该不能多次焊接吧，那又如何上电测试呢？

对于封装好的芯片，通常测试是不需要进行焊接的，它和ATE机台的连接方式是通过socket和Load board。

socckt也就是放芯片的底座，长这样：

不同大小，不同封装类型的芯片，socket也不同，有专门的做这个的厂商。

先把芯片放到socckt里，再把socket放到load board上，load board再放在机台上。有的load board很重，对很多女同志来说搬起来是有些辛苦啊！

一个load board上面支持放多个socket，我们称其为site。示意图如下，共6个site，可以对6个芯片同时进行测试：

2、那么多的功能，真的要写软件一样一样测吗？

在这里先说明一下，芯片的逻辑功能是有IC验证工程师来完成的，是在流片之前，并不依赖于测试。

而芯片测试里的function test/structure test是跑pattern，测试的是在制造过程中芯片是否有缺陷，从而影响功能/性能。

所以测试工程师所需要的关心的就是把pattern都跑通，如果跑不通可能会和DFT工程师一起进行diagnosis。

测试工程在写测试项的时候，也不是要一行一行代码去写，通常ATE机台的嵌入式软件都有提供测试项的Template, 只需要填写参数就好。另外针对一些大客户的成熟测试项，也会开发一些测试模板，留好必要的参数接口，这样就很方便应用到其他的芯片测试上。

四

写在最后

一个完备的的芯片测试不是靠芯片测试工程师一个人完成的，而是需要设计工程师，DFT工程师的支持，以及由可靠的EDA工具，优秀的硬件支撑等多方因素共同决定的。

芯片测试是极其重要的一环，有缺陷的芯片能发现的越早越好。在芯片领域有个十倍定律，从设计-->制造-->封装测试-->系统级应用，每晚发现一个环节，芯片公司付出的成本将增加十倍。

所以测试是设计公司尤其注重的，如果把有功能缺陷的芯片卖给客户，损失是极其惨重的，不仅是经济上的赔偿，还有损信誉。因此芯片测试的成本也越来越高！

在 IC 行业，每一个环节都要十分小心，一次流片的费用在数十万美金，一天的ATE机台使用几百美金。而一个芯片的利润可能只有几美分。这也是IC行业投资周期长，收益少的原因，基本前几年都在亏钱。幸运的是国家越来越重视芯片了，期待国内IC发展能越来越好。

文章来源：知乎（作者：温戈），转载请注明以上来源。本文所用视频、图片、文字如涉及作品版权问题，请联系小编进行处理。

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