什么是EUV光刻机？

半导体材料与工艺设备

2021年12月30日 15:35

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来源：芯通社

为什么三星、台积电、英特尔，这三家直接竞争对手企业争相投资ASML？

EUV堪称半导体设备发展以来最昂贵的设备，一台售价高达9,000 万欧元。

中芯国际前两年也曾向ASML下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机，不过最终没有达到货物。

看看如何修炼这台设备的。

什么是EUV光刻机？的图1

什么是EUV光刻机？的图2

什么是EUV光刻机？的图3

什么是EUV光刻机？的图4

什么是EUV光刻机？的图5

什么是EUV光刻机？的图6

什么是EUV光刻机？的图7

什么是EUV光刻机？的图8

什么是EUV光刻机？的图9

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