结构设计和导出加工数据

内容简介:

1.在VirtualLab中如何进行结构设计;

2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。

结构设计

1) 点击结构设计和导出加工数据的图1 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2

结构设计和导出加工数据的图2


2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击结构设计和导出加工数据的图3,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构

结构设计和导出加工数据的图4


3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口

目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中

结构设计和导出加工数据的图5


光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。

结构设计和导出加工数据的图6


光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest  Interpolation)]对取样光学界面进行插值


结构设计和导出加工数据的图7

4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中


结构设计和导出加工数据的图8


导出加工数据

1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit)

结构设计和导出加工数据的图9


2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest

结构设计和导出加工数据的图10


3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度


结构设计和导出加工数据的图11


结构设计和导出加工数据的图12


4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据


结构设计和导出加工数据的图13


结构设计和导出加工数据的图14


5) 进入光学界面数据导出窗口

在一般(General)标签进行如下图所示的设置

结构设计和导出加工数据的图15


在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置

结构设计和导出加工数据的图16


在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据


结构设计和导出加工数据的图17


导出加工数据列表


结构设计和导出加工数据的图18


导入加工数据

1) 点击结构设计和导出加工数据的图19 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI

结构设计和导出加工数据的图20


2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load)

结构设计和导出加工数据的图21


3) 导入取样光学界面(Sampled Interface)

结构设计和导出加工数据的图22


4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据


结构设计和导出加工数据的图23


结构设计和导出加工数据的图24


5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件


结构设计和导出加工数据的图25


6) 导入完成,观察3D视图

结构设计和导出加工数据的图26


结构设计和导出加工数据的图27







virtuallab光学设计及仿真导出加工数据

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