用于光学测量的菲索干涉仪

摘要 

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。

用于光学测量的菲索干涉仪的图1 建模任务 用于光学测量的菲索干涉仪的图2
 倾斜平面下的观测条纹

用于光学测量的菲索干涉仪的图3
 圆柱面下的观测条纹 用于光学测量的菲索干涉仪的图4
 球面下的观测条纹 用于光学测量的菲索干涉仪的图5 VirtualLab Fusion 视窗 用于光学测量的菲索干涉仪的图6VirtualLab Fusion 流程

设置入射场
 - 基本光源模型[教程视频]定义元件的位置和方向
 - LPD II: 位置和方向[教程视频]正确设置通道的非序列追迹
 - 非序列追迹的通道设置[用户案例]
用于光学测量的菲索干涉仪的图7      VirtualLab Fusion 技术

用于光学测量的菲索干涉仪的图8
 文件信息
用于光学测量的菲索干涉仪的图9 详细阅读

-Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration
-Mach-Zehnder Interferometer

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