光 · 学堂 | VirtualLab Fusion干涉检测技术|干涉原理分析及光学系统建模 2026/6/23-24（上海场）

授课时间

2026/6/23（二）-6/24（三）AM 9:00-PM 16:00

授课地点

上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室

课程讲师

讯技光电工程团队及资深顾问

课程费用

3000RMB/1人次

(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)

课程简介

纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等)，以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。

干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。

课程大纲

1

VirtualLab Fusion软件介绍

• 光之数字模型平台原理介绍
• 电磁场的表达形式
• VirtualLab Fusion用户界面的基础操作

2

基础知识简介

• 干涉发生的条件
• 杨氏双缝干涉实验特性
• 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍

3

干涉测量系统建模

• 利用FP腔研究钠原子D线光谱
• 光学相干层析扫描系统
• Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测
• 利用剪切干涉法的准直测量
• 基于菲索干涉仪的面型检测
• Mirau干涉仪
• 基于零位检测的CGH设计

4

微观与宏观结合的完整系统仿真

• 结构光照明的显微镜系统
• 用于微结构晶圆检测的光学系统
• 摩尔纹的仿真