Evident奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5100

Evident发布的OLS5100激光共聚焦显微镜（详见奥林巴斯官网）正是面向此类需求而设计：它将共聚焦激光扫描的光学性能与智能化工具相结合，可快速完成亚微米级3D形貌和表面粗糙度的精确测量。

一、共聚焦光路与405 nm激光光源

OLS5100采用反射型共聚焦激光扫描原理，以405 nm波长激光为光源（最大输出0.95 mW，2类激光）。激光束聚焦成直径约0.4 μm的光斑，对样品表面逐点扫描，由双通道光电倍增管接收信号，配合白光LED彩色光源与CMOS彩色相机，可同步获取彩色图像。共聚焦光路有效排除焦平面外的杂散光，从而构建高信噪比的3D数据。10倍至100倍的专用LEXT物镜针对405 nm波长优化像差，在整个视场内还原样品的真实形貌，即使是传统物镜难以准确测量的视场边缘区域，也能获得可靠数据。

二、亚微米级测量精度

该激光共聚焦显微镜的高度测量显示分辨率为0.5 nm，动态范围达16位；高度测量可重复性在50倍和100倍物镜下均可达0.012 μm，高度测量准确度为0.15 + L/100 μm（L为测量长度，单位μm）。综合倍率覆盖54倍至17280倍，视场范围16 μm至5120 μm，单次测量最大数据量为4096 × 4096像素，最大测量点数可达3600万像素。配合Smart Lens Advisor（智能镜头顾问），系统可依据粗糙度测量要求推荐合适物镜，进一步保障数据的可信度；其准确度与可重复性均基于可追溯体系，在用户的实际运行环境下同样有保证。

三、Smart Scan II智能扫描与高速采集

Smart Scan II（智能扫描II）让新手与资深用户都能一键获取可靠数据。其核心PEAK算法可从低倍率到高倍率构建高精度3D数据，并显著缩短采集时间；在测量电子元件、MEMS等含近垂直平面的台阶形貌时，可跳过Z轴方向不必要的扫描范围——使用MPLAPON50XLEXT物镜时，约10秒即可完成100 μm台阶的测量且准确度不降低。HDR扫描通过改变探测灵敏度获取两组形貌信息，可构建反射率差异较大样品的准确形貌数据。

四、大视场拼接、连续自动对焦与双重DIC

OLS5100-SAF/EAF型号的电动载物台内置长度测量模块，图像拼接时在传统图案匹配基础上叠加长度模块提供的位置信息，使超出单个视场的表面测量同样具有可靠的准确度。连续自动对焦功能在移动载物台或更换物镜时持续保持图像清晰，大幅减少手动调整。双重微分干涉（DIC）观察可实时呈现纳米级表面轮廓，即使使用5倍或10倍低倍物镜，也能获得与电子显微镜相当的实时图像，便于快速检出样品上的微小损伤。

五、分析软件与智能实验管理

系统软件支持符合ISO 25178标准的表面粗糙度测量，可同时获取接触式粗糙度仪无法提供的彩色图像、激光图像与3D形貌数据；轮廓测量功能可在图像上任意绘制测量线，输出距离、宽度、横截面积、半径等参数，并借助测量辅助工具自动提取特征点。智能实验管理器可自动创建实验计划、自动生成含评估条件的文件名，将数据自动填入实验计划矩阵，降低输入错误；宏功能可实现检测工作流程的自动化，公差判断以列表形式直观呈现合格/不合格结果，热图与多数据对比分析则帮助更早发现问题，各类结果均可导出至Excel，简化材料工程与失效分析实验的管理。

六、四种主机配置

OLS5100提供SAF、SMF、LAF、EAF四种配置：SAF配100 mm载物台，最大样品高度100 mm；EAF配100 mm电动载物台，最大样品高度达210 mm；LAF提供300 mm电动载物台，适合大尺寸样品；SMF最大样品高度40 mm。用户还可按需选配电动载物台软件包、高级分析、薄膜厚度测量、自动边缘测量、颗粒分析等应用程序。

从405 nm共聚焦光路、专用LEXT物镜，到智能扫描与实验管理软件，Evident OLS5100激光共聚焦显微镜以无接触、无损伤、无需制样的方式，贯通了从形貌观察、粗糙度测量到失效分析的完整工作流程，是材料工程研究与工业质量控制的可靠精密计量平台。

奥林巴斯显微镜：https://www.evidentscientific.com.cn/zh/

Evident-奥林巴斯官网-激光共聚焦显微镜-OLS5100：https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/microscopes/laser-confocal/ols5100/