SiC MOSFET新结构:可靠性提升10倍,电流增加100%

2020年东芝电子开发了新的SiC MOSFET结构,将可靠性提升了 10倍 昨天 东芝官网宣布,他们对该 结构进行 改良, 开发了3.3kV的SiC MOSFET。

据介绍,在不牺牲可靠性的同时,电流增加了1倍,将导通电阻降低了20%。该器件的样品已于今年5月发货。

SiC MOSFET新结构:可靠性提升10倍,电流增加100%的图1

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SiC MOSFET新结构

可靠性提升10倍

2020年7月,东芝宣布推出一种新的器件结构,SiC MOSFET可靠性提高10倍以上。
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碳化硅 广泛应用 太阳能 光伏 工业 电源等 领域,但 目前 2个“拦路虎” ——除了需要降低成本外,还需提高碳化硅器件 可靠性。
据东芝解释,当源漏之间的PN二极管通电时,会使SiC MOSFET带电,造成导通电阻产生变动,进而有损于器件的可靠性。
为此,东芝开发了一种SBD嵌入式MOSFET结构,可在抑制导通电阻增大的同时,提升器件可靠性。 2 020年8月,东芝利用这项新技术量产了1.2kV的SiC MOSFET。
SiC MOSFET新结构:可靠性提升10倍,电流增加100%的图3
图1:SBD嵌入式SiC MOSFET截面结构
据介绍,该结构中有一个与电池单元内的PN结二极管平行设置的SBD,可防止PN结二极管带电。相较于PN结二极管,内嵌SBD结构的通态电压更低,因此电流会通过内嵌SBD,进而抑制导通电阻变化和MOSFET可靠性下降等问题。
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图2:传统SiC MOSFET与新开发结构之间导通电阻波动的比较

从1.2kV到3.3kV

可靠性不变,电流提升1倍

尽管上述器件结构可以提升可靠性,但是也存在一个问题: 在175°C或更高的高温环境中, SiC MOSFET可传导的电流量受到限制。
根据东芝6月23日消息, 他们 对该器件结构进行修改,开发了一款3.3kV的SiC MOSFET,结果是——电流水平是东芝现有结构的2倍以上,而且不会降低可靠性,其导通电阻也下降了20%。
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图3:改良器件结构图
据介绍,东芝通过2个改进措施来解决反向传导电流量限制:一是将单元尺寸缩少了25%,二是优化了电流扩散层结构。
通常,当特性导通电阻降低时,与可靠性直接相关的指标——短路耐受性也会跟着降低,但是由于该器件结构经过改进,短路耐受性反而增加了25%(以1.2kV SiC MOSFET为例),而且也提高了可靠性。
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根据测试结果,在175℃时,这种3.3kV SiC MOSFET的电流密度是东芝现有结构的2倍以上,而且可靠性不会损失。
在室温下,该结构还可将3.3kV SiC MOSFET的特定导通电阻降低了约20%,将1.2kV SiC MOSFET的特定导通电阻降低了约40%。
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