国内半导体设备中标明细及其国产化率统计（二）

半导体产业研究院

2021年12月16日 18:33

——以下内容摘自《半导体设备深度专题：从晶圆厂招标数据看半导体设备国产化进展》，已上传【半导体产业研究】知识星球，成员可登录星球搜索关键词下载（文末查看如何成为星球成员）。

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6、去胶：国产化率 74%，屹唐股份、盛美上海国产入围

长江存储：屹唐股份中标数量位列第一。屹唐股份共计中标 74 台，数量超过韩国PSK，中标产品涵盖前、中、后段干法去胶设备。屹唐股份为中标范围内唯一一家国产厂商。

国内半导体设备中标明细及其国产化率统计（二）的图1

华力集成：屹唐股份中标数量位列第一。屹唐股份共计中标 10 台，中标产品为等离子去胶设备，涵盖前、中、后段去胶工艺。

国内半导体设备中标明细及其国产化率统计（二）的图2

华虹无锡：迪恩士获采购较多，国产厂商包括屹唐股份、盛美上海。其中，屹唐股份中标 13 台设备，均为等离子去胶设备；盛美上海中标 4 台，均为前段光刻胶剥离设备。

国内半导体设备中标明细及其国产化率统计（二）的图3

总结：去胶设备方面，屹唐股份、盛美上海等公司入围，两家设备类型有所区别。其中，屹唐股份主要产品为各类等离子体干法去胶设备，其收购的 Mattson 在去胶领域具有长期技术积累，国产化率相对较高，盛美上海产品为湿法去胶设备。从三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数 101 台，晶圆厂招标设备总数 137 台，由此计算国产化率约 73.7%。

7、化学机械抛光：国产化率 21%，华海清科为国内细分龙头

长江存储：应用材料、华海清科中标最多。其中华海清科共计中标 34 台，仅次于应用材料，中标产品主要为层间介质层化学机械抛光机、氧化硅化学机械抛光机、晶圆硅面化学机械抛光机等。

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华力集成：应用材料、荏原制作所领先，国内华海清科中标。华海清科共计中标 4台，中标产品涵盖硅研磨设备、铜化学机械研磨设备、氧化硅化学机械研磨设备和硅片背面氧化膜化学机械研磨设备。

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华虹无锡：应用材料、华海清科获采购较多。华海清科共计中标 10 台设备，化学机械抛光工艺涵盖铜、硅片再生、浅沟槽绝缘氧化膜&多晶硅膜、钨等工艺环节，应用领域较为多样；吉姆西半导体科技中标 5 台，为氧化膜化学机械抛光设备。

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总结：化学机械抛光设备方面，华海清科为国内细分龙头，化学机械抛光设备涵盖铜、硅片再生、浅沟槽绝缘氧化膜&多晶硅膜、钨等多类材料。从三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数 48 台，晶圆厂招标设备总数 230 台，由此计算国产化率约20.9%。与海外厂商相比，在工艺覆盖率方面，国内厂商有进一步提升空间。

8、离子注入：国产化率 1.4%，烁科中科信国产获采购

长江存储：应用材料、亚舍立（Axcelis）中标较多。应用材料为离子注入领域全球龙头，共计中标 38 台，中标产品涵盖高束流、中束流等类型；亚舍立 Axcelis 中标 8 台，主要为高能离子注入设备。

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华力集成：应用材料、住友重工、亚舍立等企业领先，国产烁科中科信获得采购。应用材料中标设备涵盖高电流、中电流和高能量离子注入设备；住友重工中标设备包括高电流和中电流离子注入设备；亚舍立中标设备为中电流和高能量离子注入机；烁科中科信于 2019 年中标 1 台中束流离子注入机。

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华虹无锡：住友重工、应用材料获采购最多，国产厂商烁科中科信获得采购。其中，住友重工、应用材料、亚舍立分别中标 22 台、20 台、4 台离子注入机；烁科中科信于2020 年中标 1 台，为中电流离子注入设备。

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总结：离子注入设备方面，烁科中科信在华虹无锡、华力集成均获得中标，中标设备均为中束流离子注入设备。从三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数 2 台，晶圆厂招标设备总数 139 台，由此计算国产化率约 1.4%，该领域尚存在较大国内外差距，替代空间广阔。

9、涂胶显影：国产化率 1.1%，芯源微实现国产零突破

长江存储：主要采购自东京电子，部分迪恩士、汉民科技。尚未采购国产厂商设备。

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华力集成：东京电子获采购数量领先，芯源微实现零的突破。其中，国产厂商芯源微中标 1 台，为防反射层匀胶机设备/BARC Coater。

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华虹无锡：18 台招标涂胶显影设备全部采购自东京电子，尚未采购国产厂商设备。

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总结：涂胶显影设备方面，东京电子获采购较多，国产设备公司中仅芯源微入围。芯源微在华力集成中标设备为匀胶机，国产化尚存在较大发展空间。除上述晶圆厂外，芯源微还在中芯绍兴、上海积塔、青岛芯恩等晶圆厂获得批量招标采购，产品包括聚合物涂胶显影机、背面涂胶显影机、KrF 匀胶显影机、I-line 匀胶显影机等，公司在国内涂胶显影设备领域具有一定稀缺性。从前述三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数 1 台，晶圆厂招标设备总数 91 台，由此计算国产化率约 1.1%。

10、光刻：国产化率 1.2%，阿斯麦绝对垄断，上海微实现国产零突破

光刻机方面，各晶圆厂均主要采购阿斯麦产品，少量采购日系厂商佳能、尼康。国产厂商中，上海微电子装备于 2021 年初于长江存储中标一台光刻机。当前在光刻机领域，后续厂与龙头厂商阿斯麦之间差距仍较为明显。从三座晶圆厂累计招标情况来看，国产设备中标总数 1 台，晶圆厂招标设备总数 86 台，国产化率约 1.2%，国产化率尚低。

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