大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微

 

任务/系统视图

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图1

 

亮点

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图2
 

显微镜系统中光栅的全矢量分析

在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析

光线追迹和物理光学建模之间的简单切换

 

说明:光源

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图3

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图4

 

说明:透镜系统

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图5

说明:样品结构

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图6

 

说明:探测器

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图7

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图8

 

结果:3D光线追迹

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图9

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图10

 

结果:光线追迹

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图11

 

结果:光线追迹衍射级数

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图12

 

结果:场追迹采样平面

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图13

 

结果:场追迹焦平面

 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图14

 

结果:减小光栅周期
 

随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。


大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图15

 

 

  大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图16

 

 

文档和技术信息
 

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究的图17





光学设计
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