VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪

摘要

 

扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图1

 

建模任务

 

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图2

 

仿真干涉条纹

 

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图3

 

走进VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图4

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

•设置输入场

−基本光源模型[教程视频]

•使用导入的数据自定义表面轮廓

•定义元件的位置和方向

− LPD II:位置和方向[教程视频]

•正确设置通道以进行非序列追迹

−非序列追迹的通道设置[用例]

•使用参数运行检查影响/变化

−参数运行文档的使用[用例]

 

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图5

 

VirtualLab Fusion技术

 

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图6

文件信息

 

VirtualLab Fusion:全场光学相干扫描干涉仪的图7

 

更多阅览

-  Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration

-  Mach-Zehnder Interferometer

-  Fizeau Interferometer for Optical Testing

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