光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

课程简介

纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。

干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。

显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。

 

课程大纲

第一天

1. 基本干涉原理

 干涉发生的条件

 杨氏双缝特性

2. 典型的干涉仪系统建模

 光学层析扫描在面型检测中的应用

 基于涡旋光的干涉测量系统

 激光准直镜的测量

 基础Mirau干涉仪的仿真

Q&A

第二天

1. 干涉系统的应用

 光学系统部分相干性测试

 法布里腔干涉仪分辨光谱

 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪）

 全息曝光干涉

2. 多尺度系统建模仿真

 衍射光栅干涉测量

 阿贝成像理论

 单色仪/光谱仪系统仿真

 用于微结构晶圆检测的光学系统

 不同轮廓亚波长光栅的成像

 结构光照明显微镜与STED显微镜

 SPR表面等离子共振效应

3. 摩尔纹系统

 摩尔纹检测系统

Q&A