[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理
2026年2月9日 11:19浏览：5
摘要
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图1](https://q5.itc.cn/images01/20260209/295a9fb752954191a0421a5fd917804c.png)
共聚焦扫描显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得专利，后来又以采用激光作为光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向分辨率和对比度。 在本例中，我们在VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属光栅作为测试对象来演示其工作原理。
建模任务
共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的功率变化？
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图2](https://q9.itc.cn/images01/20260209/eb07a09da18f4909b1ebd4a04a7ee758.png)
焦点区域的探测场
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图3](https://q4.itc.cn/images01/20260209/97f2ec60e52848b1bcfa6fb85d130fdf.png)
测试对象的直接反射
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图4](https://q0.itc.cn/images01/20260209/5fe7579a82fd4576ac5371719d521ba9.png)
测试对象的直接反射
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图5](https://q6.itc.cn/images01/20260209/1a8adc051a9f4edeb2eb31b031ef5064.png)
测试对象的像
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图6](https://q2.itc.cn/images01/20260209/067a848c6ee041429584b54793782cae.png)
测试对象的像
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图7](https://q0.itc.cn/images01/20260209/855dc7a570a14b24b86afc99cbb84658.png)
功率测量与测试对象的横向偏移
![[VirtualLab] 共聚焦扫描显微镜的工作原理的图8](https://q3.itc.cn/images01/20260209/d46c6a286462493999aebd6a9e30ccc9.png)
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