薄膜物理_10819925.pdf

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薄膜物理


节选段落一:
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书名=薄膜物理
作者=
页数=349
SS号=10819925
出版日期=
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第一章 薄膜的形成
1-1 单体的吸附
1-2 小原子团的形成
1-3 成核理论
1-4 凝结系数
1-5 薄膜的岛状生长过程
1-6 薄膜的生长模式
1-7 外延薄膜的形成
1-8 薄膜的结构
1-9 薄膜中的缺陷
第二章 薄膜的力学性质
2-1 薄膜的附着性能
2-2 薄膜的内应力
2-3 薄膜的弹性、强度和硬度
2-4 薄膜的摩擦
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