FLUENT多相流案例之八:基于FLUENT融化模型的晶体CZ法生长过程仿真

基于FLUENT融化模型的晶体CZ法生长过程仿真


如下图所示,在一个直筒型的热系统中,采用石墨电阻加热,将装在高纯度石英坩埚中的多晶半导体熔化,然后将籽晶插入熔体表面进行熔接,同时转动籽晶,并反转坩埚,将籽晶缓慢向上提升,经过引晶、放大、转肩、等径生长、收尾等过程,由此,单晶半导体就生长出来了。该方法被称为CZ法(连续直拉法)。

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Cz法单晶生长过程中涉及凝固的流体流动问题,而Fluent多相流中的凝固模型非常适合用来模拟连续铸造过程,本算例中将采用自定义函数设置固定的提拉速度,模拟固体材料不断从铸造区域被拉出的过程。FLUENT多相流案例之八:基于FLUENT融化模型的晶体CZ法生长过程仿真的图2熔融状态的金属半导体在坩埚内冷却,坩埚边界温度为1400k,入口速度为0.00101m/s,温度为1300k,出口速度为竖直0.001m/s,同时具有旋转角速度1rad/s,温度为500k,金属自由液面温度为1400k,由于马兰戈尼效应,存在表面张力梯度-0.00036n/m-k,固体边界温度为500k,同时存在相对于内部单元的旋转速度1rad/s。具体边界条件如下图所示。FLUENT多相流案例之八:基于FLUENT融化模型的晶体CZ法生长过程仿真的图3


仿真计算结果如下图所示

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Ansys.Fluent多相流模拟多物理场仿真流固耦合铸造CFD

FLUENT多相流案例之八:基于FLUENT融化模型的晶体CZ法生长过程仿真的评论3条

  • 砥力
    0
    CZ法作为单晶硅生长最常见的方式,FLUENT融化模块能够帮助优化工艺参数,很有参考价值
  • 砥力
    0
    3D打印过程中的激光熔化过程也是类似的

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