为世界上第一条 200mm 碳化硅中试线铺平道路
1 . 引言
2 . 200 mm 4H-SiC 晶锭的晶体生长
3 . 使用 SiC 晶锭制造 200 mm 外延晶圆
4 . 生产工具的初步处理和兼容性测试
5 . 在 200 mm SiC 晶片上生长 4H-SiC 外延层
图 4。(a) 200 mm 机械级SiC晶片和 (b) 商用 150 mm SiC 晶片上外延层的典型厚
度图。
6 . 总结
点赞 评论 收藏
图 4。(a) 200 mm 机械级SiC晶片和 (b) 商用 150 mm SiC 晶片上外延层的典型厚
度图。