衍射及微纳光学系统的分析、设计与加工技术

时间地点：

主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：infotek）；苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary）

授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00

授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室

课程讲师：讯技光电高级工程师

课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)

课程概要：

本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。

课程大纲：

1.波动光学基础

□ 双光束干涉及杨氏干涉

□ 相干及非相干光源的传播特性

□ 衍射光学与傅里叶变换

2.衍射元件概述

□ 衍射光学元件概念

□ 衍射光学元件优点

□ 光束分束、整形、扩散

□ 傅里叶变换

□ 角谱理论

□ 工作装置类型

3.衍射光学元件理念及设计

□ 基本理念

□ 透镜和衍射光学元件的作用

□ 分束、整形和扩散的实质

□ 衍射光学元件的特征尺寸

□ 衍射光学元件优化设计方法

4.IFTA简介

□ 基本设计步骤

□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱

□ 参数估算——周期和线宽的估算

□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率

□ 配置设计过程的优化评价函数

5.衍射元件设计案例

□ 衍射分束器参数选择

□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状

□ 衍射整形器参数选择

□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型

□ 衍射扩散器参数选择

□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案

6.光栅模拟分析

□ 构建stack

□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次

□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析

□ 2D光栅表面镀膜分析

□ 3D表面具有减反结构的光栅分析

□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析

7.光栅概述

□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件

□ 标量衍射和傅里叶变换

□ 矢量衍射和傅里叶模态法

□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等

8.微纳光学元件制作

□ 多阶器件加工

□ 连续器件加工

□ 传统套刻法

□ 激光直写法

□ 纳米光子器件制作概述

□ 衍射光学元件公差分析

9.答疑

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