VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图1                          

薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现

建模任务

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图2

光栅元件

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图3

通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到:

• FMM/RCWA

• Diffractive Lens Component

正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)    

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图4

正弦光栅-传输相位形态   

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图5

正弦光栅-传输相位形态                             

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图6

正弦光栅-衍射效率

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图7

正弦光栅-效率vs. 周期                            

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图8

正弦光栅—选定周期的相位形态                    

                            VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图9

闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图10                            

闪耀光栅-传输相位形态                             

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图11

闪耀光栅-衍射效率                             

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图12

                               

闪耀光栅-效率vs.周期                             

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图13

                               

闪耀光栅-选定周期相位形态                             

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图14

                               

VirtualLab Fusion技术  

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图15

文件信息

VirtualLab:薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模的图16

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