椭圆偏振分析器

当线偏振光(分解为一个偏振平行(𝐸p,i)和一个垂直于入射面(𝐸s,i)的波)与电介质相互作用时，偏振态会发生变化。从入射波和反射(或透射)波之间的相移(𝛥)，以及反射(或透射)振幅的比值(tan(𝛹))，可以推导出介质的介电特性(𝑛, 𝑘)。

椭圆偏振仪的基本原理
 

 

椭圆偏振仪是一种光学测量方法，通常用于确定薄膜的介电特性。测量涉及确定不同波长和入射角下从样品反射或透射时光偏振态的变化。因此，它可用于表征成分、粗糙度、厚度、结晶性能、导电性和其他材料特性。它对入射辐射与所研究材料相互作用的光学响应变化非常敏感。此用例演示了椭圆偏振仪的基本原理，并说明了 VirtualLab Fusion中内置椭圆偏振分析器的使用。

级次选择

分析器在计算过程中配置光学设置的方向和位置。因此，不需要配置光源的位置，光学系统中的探测器或光源中的偏振态。
 

该堆栈可以由单个或一定数量的层组成，也可以由1D或2D周期结构(光栅)组成。

椭偏分析器可以计算光在所定义堆栈上反射或透射的结果。