倾斜光栅的参数优化及公差分析

对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说，将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用，倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中，提出了利用严格傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外，还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。

 

摘要