icp_torch.pdf

节选段落一：
在 COMSOL Multiphysics 5.6 版本中创建
电感耦合等离子体 ( ICP) 炬
此模型基于 《 COMSOL 软件许可协议》 5.6 版本授权。
所有商标均为其各自所有者的财产。请参见 cn.comsol.com/trademarks。
http://cn.comsol.com/sla
http://cn.comsol.com/trademarks/
简介
如今，热等离子体已广泛应用于工业领域，包括切割、焊接、喷涂、废物销毁和表面
处理。


节选段落二：
图 2：ICP 炬示意图。气流从底部（v1、 v2 和 v3）进入，从顶部流出。模型不同部分
的尺寸在 “建模操作说明”部分给出。
在模型中，以 3 MHz 的频率向三匝线圈提供激励。然后，通过焦耳热使在鞘管（等离
子体约束管）中流动的气体电离。
模型通过使用频域 - 瞬态研究结合单匝线圈特征来求解，该特征为系统设置了固定功
率 (11 kW)。通过固定功率，线圈中的电流和电势会随着等离子体电导率的增加发生变
化。线圈电流稳定到其标称值时达到稳态。
此模型中包含三种不同速度的纯氩气流 （载流子管的速度 v1、中心管的速度 v2、鞘管
的速度 v3）。


节选段落三：
表达式 单位 描述
mf.ICoil_1 A 线圈电流
20 | 电感耦合等离子体 ( I C P ) 炬
21 | 电感耦合等离子体 ( I C P ) 炬
22 | 电感耦合等离子体 ( I C P ) 炬
电感耦合等离子体 (ICP) 炬
简介
模型定义
结果与讨论
参考资料
建模操作说明