硼扩工艺部分维护.pdf

节选段落一：
硼扩工艺部份维护程序
MAINTENANCE PROCEDURE OF BORON PROCESS PARTS
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J158XXX – J992XXX


节选段落二：
倒叙组装：
注：由于硼化工艺会产生粉末，我们建议在必要时准备好清洁的部件以进行快速维护：例如，
由于粉末、泄漏等原因而中止工艺
因此，将清洁部件真空系统泵(泵-管道-过滤器)准备好进行标准交换，效率会更高。清洗脏的
部份可在空闲时间内完成。这意味着不需要长时间停止生产。
MAINTENANCE PROCEDURE OF BORON PROCESS PARTS
真空系统清洁
-每月必须进行这项清洁工作，不用拆除。
-到达斜坡至 300°C，打开泵并打开闸阀。
-30分钟内泵入空气。
-关闭闸阀，关闭泵。
-恢复到待机温度。
清空和清洁排气泵管
除堵塞管道外，取决于批量生产；每三个月排空泵管道。


节选段落三：
碳化硅产品清洁
SEMCO供应的碳化硅产品来自于用于 CVD和扩散系统的碳化硅陶瓷的标准制造工艺。
碳化硅成型和熔块是多孔的。然后用 700微米的多晶硅涂层喷涂并固定 SiC核。
氢氟酸(HF)和硝酸(HNO3)的结合可以腐蚀硅并滤出多晶硅涂层。
禁止 HF和 HNO3 混合
碳化硅桨清洁
·在化学安全的容器中，将 1HF(49%)的溶液与 4H2O混合。
·浸入桨叶。
·留足够长的时间。
·在去离子水中清洗，在空气中干燥。
·在室温下干燥 12小时或更长时间。
·室温干燥后，最好在 300-400℃下插入桨叶 1-2小时，然后使用正常的 300°C 爬坡循环。