纳米压痕有限元仿真材料模型选择
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纳米压痕对薄膜材料特性的有限元仿真:
我使用的材料单元为PLANE182,TARGE169,CONTA171,使用的是2维轴对称模型,接触上,选中压头线与薄膜上边线,设的是面与面接触。
约束:衬底底边全约束,中心轴线约束UX,压头线给UY方向分步位移,速度10nm/s,压入深度为100nm,压入保持了5秒,释放用了5秒。
求解选择地是Large Displacement Static,自动时间步长,记录每一步结果。
仿真结果出现了问题,薄膜表面当去掉位移载荷后,弹性恢复的很小,例如压入100nm,只能回弹到90多nm,而论文里的能恢复到50多nm。
不知道大家有没有遇到过这种情况,求高手解答!!!!!!
附件有节点位移随时间的曲线图和论文里的载荷位移曲线图。
我使用的材料单元为PLANE182,TARGE169,CONTA171,使用的是2维轴对称模型,接触上,选中压头线与薄膜上边线,设的是面与面接触。
约束:衬底底边全约束,中心轴线约束UX,压头线给UY方向分步位移,速度10nm/s,压入深度为100nm,压入保持了5秒,释放用了5秒。
求解选择地是Large Displacement Static,自动时间步长,记录每一步结果。
仿真结果出现了问题,薄膜表面当去掉位移载荷后,弹性恢复的很小,例如压入100nm,只能回弹到90多nm,而论文里的能恢复到50多nm。
不知道大家有没有遇到过这种情况,求高手解答!!!!!!
附件有节点位移随时间的曲线图和论文里的载荷位移曲线图。


楼主好,我学习纳米压痕的ansys模拟,你有时间的话,有些问题想跟你请教一下?我qq 2569054555,